Vi motor nhiệt-điện siêu nhỏ chế tạo bằng công nghệ MEMS

Nhóm tác giả Trần Văn Quân (Viện Cơ khí, ĐH Bách Khoa Hà Nội), Bùi Hữu Nam và Nguyễn Tiến Dũng (ĐH Kỹ thuật Công nghiệp - ĐH Thái Nguyên) sử dụng công nghệ vi cơ điện tử - MEMS (Micro Electromechanical systems) để thiết kế và mô phỏng một mẫu vi motor quay sử dụng bộ kích hoạt nhiệt điện dạng chữ V.

Vi motor có kích thước ngoài 2,4 mm, hoạt động với điện áp dẫn tối thiểu U_min = 19V trong dải tần số hàng trăm Hz. Ưu điểm nổi bật của loại vi motor này là tiêu thụ năng lượng ít (điện áp dẫn động thấp), hệ thống điều khiển đơn giản, dễ dàng chế tạo hàng loạt dựa trên công nghệ vi cơ khối (Bulk-micromachining). Trong tương lai, vi motor này có thể được tích hợp vào trong các khớp quay của vi robot hoặc trong các hệ thống vận chuyển/ lắp ráp micro nằm trên chip.